เมื่อมาถึงสมัยพระยาธรรมช้างเผือกผู้ครองนคร เชียงใหม่ พร้อมด้วยบริวาร 500 คนก็ขึ้นไปกราบ
สักการะบูชาพระพุทธบาทสี่รอย และได้สร้างวิหารครอบพระพุทธบาทสี่รอยไว้ชั่วคราว โดยแต่เดิมถ้า ใครจะดูรอยพระพุทธบาทบนยอดหินก้อนใหญ่ ต้องใช้บันไดพาดขึ้นไปหรือปีนขึ้นไปดูซึ่งก็คงจะขึ้นได้เฉพาะผู้ชายเท่านั้น ดังนั้น พระยาธรรมช้างเผือก จึงตรัสสร้างแท่นยืนคล้ายๆนั่งร้านรอบๆก้อนหินที่มีพระ พุทธบาทสี่รอยและได้สร้างหลังคาชั่วคราวมุงไว้ ต่อมาในสมัยพระชายาเจ้าดารารัศมีก็ได้ขึ้นไป กราบนมัสการพระพุทธบาทสี่รอยและได้มีพระราชศรัทธา ก่อสร้างวิหารเป็นการกราบบูชารอยพระพุทธบาทไว้หนึ่งหลัง หลังเล็กปัจจุบันได้บูรณะปฏิสัง ขรณ์แล้วทั้งหลัง
พอมาสมัยเมื่อปี พ.ศ2472 ครูบาศรีวิชัย นักบุญแห่งล้านนาไทยก็ได้ขึ้นไปกราบนมัสการพระพุทธบาทสี่รอย และได้รื้อพระวิหารที่เจ้า พระยาธรรมช้างเผือกสร้างไว้ชั่วคราว และได้สรางพระวิหารครอบรอยพระพุทธบาทไว้ใหม่ และได้ฉาบปูนครอบรอยพระพุทธบาทสี่รอย พระพุทธบาทสี่รอยนี้เป็นพระพุทธบาทที่เก่าแก่ที่สุดในประเทศไทย